KIVOSi kontseptsioon

KIVOS on väga paindlik, modulaarne plasmasüsteemide kontseptsioon. Neid süsteeme saab kasutada mitmesugustes rakendustes, näiteks pindade peenpuhastus ja aktiveerimine, reaktiivne ioonide söövitus (RIE) ja katmine (PECVD, PVD). See kontseptsioon võimaldab AURIONil toota kõrgelt arenenud tooteid soodsate hindadega. Meie kliendid saavad sellest hinnaeelisest eelisest kasu. Teine eelis on see, et ühte süsteemi saab kasutada väga erinevate rakenduste jaoks.

Selle kontseptsiooni põhiidee seisneb selles, et võimalikult paljud süsteemi komponendid oleksid kergesti vahetatavad. See tähendab nii omavahelist vahetatavust kui ka asendatavust uute komponentidega, näiteks uue rakenduse jaoks.

Nagu allpool esitatud joonisel on näha, on protsessikambri põhielemendiks kuubikujuline roostevabast terasest raam. Selle raami külge on kinnitatud kuus metallplaati (moodulid), mis täidavad erinevaid funktsioone. Moodulid on valmistatud roostevabast terasest või alumiiniumist, sõltuvalt rakendusest.

Tänu kõigi moodulite ühesugustele mõõtmetele (kuubikujuline !!!) on neid võimalik ilma suurema vaevata omavahel või teiste komponentidega vahetada. See tähendab, et veidi teistsuguse rakenduse jaoks ei pea ostma täiesti uut protsessikambrit, mis võib vajada ainult kahte uut äärikut või teist kambri ust. Mõnel juhul piisab isegi kahe või kolme mooduli omavahelisest asendamisest.