Aurion Anlagentechnik GmbH
toode Plasma klastrisüsteemid firmalt Aurion Anlagentechnik GmbH
AURION pakub kohandatud mitmekambrilisi süsteeme substraatide käitlemisega vaakumis. Saadaval on lukustuskambrid, ülekandekambrid ja protsessimoodulid sputter- ja RIE-protsesside jaoks.