Aurion Anlagentechnik GmbH

Kõrgsageduslikud sobitusvõrgud

Rakendus
PRODIK-seeria kõrgsageduslikud sobitusvõrgud on mõeldud plasmaimpedantsi täisautomaatseks sobitamiseks HF-generaatori väljundimpedantsiga, mille nimisagedus on 13,56 MHz. Erinevad ahelad võimaldavad probleemivaba ja vähese kaoga sobitamist dioodide, magnetronkatoodide ja suurte tasapinnaliste elektroodide jaoks PECVD ja söövituse jaoks (mikroelektroonika, ekraanitehnoloogia jne).

Võrgud (matchboxid) on optimeeritud kõrgeima protsessistabiilsuse saavutamiseks ja pakuvad juhtivat mõõtmis- ja kontrolltehnoloogiat. Selle tulemuseks on optimaalne kasutajasõbralikkus ja parim protsessikontroll.

Riistvara
Meie sobitusvõrgud on valmistatud kompromissitult kõrge kvaliteediga. Kõrgekvaliteedilised vaakum- ja keraamilised kondensaatorid ning hõbetatud, täismassist vasest valmistatud juhtivate osade kasutamine kõigis tugevalt koormatud kohtades tagab kõrge töökindluse ja reprodutseeritavuse. Korpused on valmistatud alumiiniumist ja kõik kaaned on vask-berüllium vedrukontaktidega. See tagab äärmiselt kvaliteetse HF-varjestuse ja võimaldab samas seadmeid hõlpsasti avada ja sulgeda, kasutades selleks vaid paari kiirkinnititit.

Mõõtmistehnika
Matchboxi sisendil oleva fikseeritud kondensaatori juures mõõdetakse kahte pinget mahtuvusliku pingejaoturi abil. Need on konstrueeritud madala haakeseadisega, mis pärsib ristsidet.

Voolud määratakse pingeerinevuste põhjal, kõrvaldades induktiivsete haakeseadistega vigade tekkimise ohtlikud otsevoolumõõtmised.

Mõõdetud väärtused salvestatakse logaritmilise võimendiga. See tehnoloogia võimaldab suurimat täpsust ja maksimaalset dünaamikat.

Sisendimpedantsid ja (väiksema täpsusega) koormusimpedantsid arvutatakse mõõteandmete põhjal. Selle põhjal määrab kontroller muutuvate kondensaatorite optimaalsed seadistused. Sisend- ja koormusimpedantsi saab kuvada või süsteemi juhtimise kaudu edasi töödelda.

Lisaks sellele mõõdetakse tikutooside väljundis alalisvoolu eelpinget ja plasma tuvastamise süsteem tuvastab, kas plasma on süttinud.
Juhtimiskontseptsioon
PRODIK-seeria veenab uuendusliku anduritehnoloogia ja kaasaegse CAN-bussi tehnoloogia abil, millel on detsentraliseeritud intelligentsus.

Kõik mõõtesignaalid teisendatakse A/D-konverteriga kohe pärast mõõtmist ja edastatakse seejärel digitaalselt ja seega ilma häirete või kadudeta bussi kaudu.

Vaakumkondensaatorite mootori ajamitel on oma elektroonika (CUB) koos mootori ajamite, asukoha tuvastamise ja CAN-liidesega. Kommunikatsioon keskjuhtimispuldiga kasutab kalibreerimist otse pF-is. See tähendab, et kogu eelkalibreeritud kondensaatorite seadet koos ajamiga saab täielikult välja vahetada, ilma et oleks vaja mingeid kalibreerimismeetmeid. Kõik protsessiparameetrid on otseselt reprodutseeritavad.

Kesksel kontrolleril, ASC, on lisaks CAN-bussile standardselt RS232-liides ja Profibus.

HF-generaatori integreerimiseks on saadaval universaalne analoog/digitaalliidesekaart (GCT). selle kaudu saab ASC võtta üle täieliku kontrolli HF-generaatori üle. See võimaldab näiteks juhtida kogu HF-süsteemi, kaasa arvatud profibussüsteemiga mitteühilduvat generaatorit, ASC profibusliidese kaudu.
AURIONi juhtimispõhimõtte skemaatiline kujutis
Autotuuninguks mõõdetakse, nagu juba mainitud, 2 pinget üle sisendkondensaatori fikseeritud kondensaatori. Sellest arvutatakse sisendimpedants, mis omakorda annab veidi vähendatud täpsusega väljund- või koormusimpedantsi. Valikuliselt on võimalik seda väljundimpedantsi otse mõõta ja seega täpselt kontrollida ühendatud võimsust.

Koormuse impedantsi kaudu on võimalik määrata reaktiivvõimsus, väljundvool ja muud protsessiga seotud parameetrid.

Neid saab pärida, kuvada ja hinnata ETHOSi konfiguratsioonitarkvara kaudu või neid saab edasi töödelda süsteemi juhtimise (nt PLC) abil.

Täielik modulariseerimine võimaldab juhtimiskontseptsiooni kiiret ja paindlikku, puhtalt tarkvaraga toetatud kohandamist mitmesugustele nõuetele. Näiteks on saadaval tarkvaravariandid kiire tsükli tööks, mille sputterdamisaeg jääb sekundite vahemikku. Siinkohal ei oleks klassikaline automaatne häälestamine kohaldatav.

AURIONi tehnoloogia võimaldab aga ühendada stabiilse lühikese sputterdamisprotsessi automaatse drifti kompenseerimisega protsesside vahel ja seega saada kõik eelised.

PRODIK-seeria sobitusvõrgud on projekteeritud vastavalt kliendi tehase nõuetele. Selleks on saadaval mitmesugused vooluahelad