Aurion Anlagentechnik GmbH

Tootja
Germany
Website
Toote päring
Telefon

DIN EN ISO 9001:2015

Ettevõtte profiil
Tooted ja teenused
Uudised

Tootja
Germany
Website
Toote päring
Telefon

DIN EN ISO 9001:2015

toode PECVD-katteseadmed firmalt Aurion Anlagentechnik GmbH

Plasmat kasutatakse paljude pinnatöötlusülesannete lahendamiseks, st pindade katmiseks, polümeeride aktiveerimiseks, mikroelektroonikakomponentide söövitamiseks ja puhastamiseks. Pindade puhastamiseks kasutatakse praegu erinevaid plasma genereerimise meetodeid: Raadiosagedused (40 kHz ja 13,56 MHz) ja mikrolained. Tüüpilised gaasisegud sisaldavad hapnikku, argooni ja mõnikord vesinikku ja karbontetrafluoriidi.